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          1. 六氟化鎢

            六氟化鎢

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            所屬分類:氟化物產品

            發布日期:2021-06-24 14:57:06

            咨詢熱線:申總:15038538634 在線留言
            詳情

              一、標識

              中文名:六氟化鎢          英文名:Tungsten hexafluoride
              分子式:WF6                分子量:297.8
              CAS號:7783-82-6          危險性類別:第2.3類有毒氣體

              二、理化性質

              熔點:2.3      沸點:17.5      相對密度(水=1):3.44

              三、主要用途

              在微電子工業和材料加工改性中,六氟化鎢用于離子注入或化學氣相沉積硅化鎢或鎢膜,用以制作低電阻、離熔點的電路互連線和柵極,還有抗X射線或γ射線的保護罩,高效太陽能吸收器。

              三、運輸方式

              包裝類別:Ⅱ                   包裝標志:6

              四、儲運注意事項

              儲存于陰涼、干燥、通風良好的不易燃庫房。遠離火種、熱源。防止陽光直射。防止受潮。與其他物品分開存放。平時要注意檢查容器是否有泄漏現象。搬運時戴好鋼瓶安全帽和防震橡皮圈,防止鋼瓶碰撞、損壞。

              五、泄漏處理

              疏散泄漏污染區人員至安全區,禁止無關人員進入污染區,應急處理人員戴正壓自給式呼吸器,穿廠商特別的化學防護服(完全隔離)。在確保安全情況下堵漏。噴水霧減慢揮發(或擴散),但不要對泄漏物或泄漏點直接噴水。勿使水進入包裝容器內,抽排(室內)或強力通風(室外)。漏氣容器不能再用,且要經過技術處理以清除可能剩下的氣體。
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